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Plasma Cleaning

Introductions



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1號(hào)海報(bào) 馗鼎 副本2(1).jpg

process section

UVCP

MTORR

150

O2(SCCM)

1,500

stable voltage(MTORR)

200

power (output)(KW)

6

times(s) 

20

temperature(℃)

25

contact angle(O)

≤20


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